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全自動探針臺是我司自主研發(fā)設(shè)計制造的一款設(shè)備，主要對晶圓制造中的晶圓CP測試。本設(shè)備采用針接觸式測試，可提供多個可調(diào)測試針及探針座；測試機與探針臺直接鏈接，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸，把測試機上輸出的信號精準(zhǔn)地輸送至晶圓表面，快速高效的完成，對芯片進行各種電性及光效參數(shù)測試，自動完成篩選芯片的生產(chǎn)良率和效率，進而助力芯片后續(xù)的生產(chǎn)使用提質(zhì)增效。
1、高效、高精度測試，運行速度超200mm/s；
2、支持單點和連續(xù)測試；
3、測試箱與機臺直連自動控制，快速切換測試針卡；
4、全自動控制系統(tǒng)，測試軟件簡潔高效。
4/6/8/12″晶圓自動檢測
產(chǎn)品名稱
全自動探臺針
產(chǎn)品型號
P8/P12
晶圓規(guī)格參數(shù)
6 / 8 / 12英寸 .厚度300-1000?
Die Size
300-76000?
設(shè)備行程
X:0-350mm；Y:0-800mm，Z:0-70mm
設(shè)備精度/分辨率
X Y Z ≤2? / 0.1?
XYZ軸最大運行速度
260mm/s
Theta參數(shù)
范圍：±5° / 精度0.001°
機臺尺寸
2*1.8*1.8m（長寬高）
機臺重量
2600kg
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